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http://repositoriodigital.ipn.mx/handle/123456789/11091
Título : | Crecimiento y Caracterización Estructural de Películas Semiconductoras de InAsSb para Aplicaciones en el Infrarrojo |
Palabras clave : | peliculas semiconductoras |
Fecha de publicación : | 16-ene-2013 |
Editorial : | Instituto Politecnico Nacional |
Descripción : | En este primer periodo se encontraron las condiciones
experimentales para obtener por la técnica de crecimiento de
Epitaxia en Fase Liquida (EFL) películas semiconductoras
de InAs1-x Sbx sobre sustratos de GaSb a una temperatura de
496 °C. usando la misma concentración liquida de arsénico.
Se estudio la influencia que el grado de supersaturación ΔΤ
ejerce sobre las características del crecimiento. Con
espectroscopia de Rayos X de alta resolución se midió la
separación atómica de la película y del sustrato.
Encontramos que existe la tendencia por parte de la solución
liquida de In-As-Sb de disolver el sustrato de GaSb. Para
evitar la disolución, experimentamos diversos crecimientos
aumentando el grado de supersaturación a valores entre 10 a
30 °C, Obtuvimos valores para el parámetro de acoplamiento
Δa/a entre película y sustrato mayores que 2.9 x10-3.
Observamos que la disolución solo disminuye cuando Δa/a
es positivo. Articulo en extenso en memoria de simposio Instituto Politecnico Nacional. UASLP |
URI : | http://www.repositoriodigital.ipn.mx/handle/123456789/11091 |
Otros identificadores : | 978-07-414-022-4 http://hdl.handle.net/123456789/600 |
Aparece en las colecciones: | Doctorado |
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