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Título : Caracterización eléctrica de películas de oxido de hafnio por espectroscopia de impedancias
Palabras clave : oxido de hafnio
peliculas delgadas
Fecha de publicación : 16-ene-2013
Editorial : Instituto Politecnico Nacional
Descripción : Se llevaron a cabo mediciones eléctricas en películas de oxido de hafnio, mediante la técnica espectroscopia de impedancias, en configuración de sándwich. Las películas fueron sintetizadas utilizando la técnica de rocío pirolitico ultrasónico a temperaturas de depósito en el rango de 400 a 500 oC. La Espectroscopia de Impedancias es una técnica de caracterización de propiedades eléctricas, que logra destacar las propiedades granulares e intergranulares del material. Estas mediciones pueden ser representadas por un circuito equivalente RC, para simular el comportamiento eléctrico del sistema. En los diagramas de impedancia compleja Z* generalmente se forman semicírculos, en los cuales es posible obtener los valores de R y C para cada semicírculo, mediante la expresión ω��������������������������������������maxRC=1, dichos valores son respuesta de las características microestructurales del material. En los espectros de impedancia y módulos ( Z» y M» vs ω) se destaca la formación de picos de Debye, que coinciden en frecuencia y con un ancho ligeramente mayor a 1.14 decadas, lo cuál se interpreta como un proceso de relajación.
Articulo en extenso en memoria de simposio
Instituto Politecnico Nacional. CONACYT
URI : http://www.repositoriodigital.ipn.mx/handle/123456789/11525
Otros identificadores : 978-607-414-131-3
http://hdl.handle.net/123456789/1078
Aparece en las colecciones: Doctorado

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