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http://repositoriodigital.ipn.mx/handle/123456789/11488| Título : | Automatización de un sistema rocío pirolitico ultrasónico para la deposición depelículas ultra-delgadas de HfO2 impurificadas con tierra raras |
| Palabras clave : | Automatizacion de un sistema impurificadas con tierras raras |
| Fecha de publicación : | 16-ene-2013 |
| Descripción : | Se realizarán películas ultra-delgadas de óxido de hafnio
impurificadas con tierras raras por medio del método de
deposición de rocío pirolítico ultrasónico; se automatizó
éste sistema con la finalidad de tener un mejor control en
las variables que intervienen en la deposición de las
películas; se estudiarán sus propiedades (caracterización)
tales como morfología, rugosidad, composición química,
estructura cristalina y fotoluminiscencia utilizando:
microscopia de fuerza atómica, espectroscopia por
dispersión de energía, difracción de rayos x de ángulo
pequeño y espectroscopia foto-luminiscente. Articulo en extenso de memoria de Simposio Instituto Politecnico Nacional y Conacyt |
| URI : | http://www.repositoriodigital.ipn.mx/handle/123456789/11488 |
| Otros identificadores : | 978-607-414-214-3 http://hdl.handle.net/123456789/1019 |
| Aparece en las colecciones: | Doctorado |
Ficheros en este ítem:
| Fichero | Descripción | Tamaño | Formato | |
|---|---|---|---|---|
| 2010 VI STA 53-54.pdf | 238.75 kB | Adobe PDF | Visualizar/Abrir |
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