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http://repositoriodigital.ipn.mx/handle/123456789/11234| Título : | Obtención de películas delgadas de sub-óxidos de titanio (TiOx con 0<x<2) |
| Palabras clave : | Obtencion de peliculas delgadas oxidos de titanio |
| Fecha de publicación : | 16-ene-2013 |
| Editorial : | Instituto Politecnico Nacional |
| Descripción : | Se prepararon películas delgadas de óxidos de titanio
mediante la técnica de rf-sputtering reactivo con magnetrón
a partir de un blanco de titanio metálico y en un plasma
argón/oxígeno. Con el propósito de obtener películas con
deficiencias de oxígeno (TiOx con 0<x<2) en distinta
proporción, el flujo de oxígeno inyectado a la cámara de
depósito fué variado para el crecimiento de cada una de las
películas. La caracterización por espectroscopía UV-Vis
mostró que los distintos flujos de oxígeno utilizados
modifican el tipo de material que forma las películas, lo
cual es reflejado como un cambio en la transmisión óptica
de estas. A partir de las curvas de transmisión óptica se
construyeron curvas de Tauc [1] de las cuales se calculó el
ancho de banda de energía prohibida (gap) de las películas.
El gap depende de manera no lineal con el flujo de oxígeno
con que las películas fueron preparadas y tiende hacia un
valor 3.34 eV a medida que el flujo de oxígeno se
incrementa. Articulo en extenso de memoria de Simposio Instituto Politecnico Nacional y Conacyt |
| URI : | http://www.repositoriodigital.ipn.mx/handle/123456789/11234 |
| Otros identificadores : | 978-607-414-214-3 http://hdl.handle.net/123456789/744 |
| Aparece en las colecciones: | Doctorado |
Ficheros en este ítem:
| Fichero | Descripción | Tamaño | Formato | |
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| 2010 VI STA 13-14.pdf | 890.95 kB | Adobe PDF | Visualizar/Abrir | |
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