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http://repositoriodigital.ipn.mx/handle/123456789/10934| Título : | Deposito de Películas Ferroeléctricas de Ba1-xSrxTiO3 por RF-Sputtering |
| Palabras clave : | peliculas ferroelecticas |
| Fecha de publicación : | 16-ene-2013 |
| Editorial : | Instituto Politecnico Nacional |
| Descripción : | En este trabajo se presenta el depósito de películas delgadas ferroeléctricas de Ba1–xSrxTiO3 sobre sustratos de Pt/TiO2/SiO2/Si por RF co-sputtering. El co-sputtering fue hecho mediante dos magnetrones con blancos de BaTiO3 y SrTiO3 en una configuración off-axis. Las películas obtenidas fueron uniformes y sin cúmulos. La curva de histéresis muestra la presencia de ferroelectricidad. Articulo en extenso en memoria de simposio Instituto Politecnico Nacional |
| URI : | http://www.repositoriodigital.ipn.mx/handle/123456789/10934 |
| Otros identificadores : | 978-607-414-014-9 http://hdl.handle.net/123456789/443 |
| Aparece en las colecciones: | Doctorado |
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| Fichero | Descripción | Tamaño | Formato | |
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