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http://repositoriodigital.ipn.mx/handle/123456789/10662| Título : | CALENTADOR DE SUSTRATOS DE BAJO COSTO PARA TRATAMIENTO IN-SITU DE PELICULAS DELGADAS DEPOSITADAS POR RF-SPUTTERING |
| Palabras clave : | Calentador Vacio |
| Fecha de publicación : | 16-ene-2013 |
| Editorial : | Sociedad Mexicana de Fisica |
| Descripción : | CONACYT, IPN |
| URI : | http://www.repositoriodigital.ipn.mx/handle/123456789/10662 |
| Otros identificadores : | Rev. Mex. De Fis. 56 (1) (2010), 85-91 http://hdl.handle.net/123456789/144 |
| Aparece en las colecciones: | Doctorado |
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