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http://repositoriodigital.ipn.mx/handle/123456789/10661
Título : | Effect of the plasma composition on the structural and electronic properties of as-grown SiOx/Si heterolayers depositedby reactive sputtering |
Palabras clave : | SiOx Si |
Fecha de publicación : | 16-ene-2013 |
Editorial : | Institute of Physics |
Descripción : | CONACYT, IPN |
URI : | http://www.repositoriodigital.ipn.mx/handle/123456789/10661 |
Otros identificadores : | Semicond. Sci. Technol. 24(2009) 105028 http://hdl.handle.net/123456789/143 |
Aparece en las colecciones: | Doctorado |
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