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Registro completo de metadatos
Campo DC Valor Lengua/Idioma
dc.creatorMota, Esteban-
dc.creatorMelendez, Miguel-
dc.creatorZapata, Martin-
dc.creatorPerez, Armando-
dc.creatorSantana, Miguel-
dc.creatorDel angel, Pedro-
dc.date2012-03-16T01:18:13Z-
dc.date2012-03-16T01:18:13Z-
dc.date2009-
dc.date.accessioned2013-01-16T08:52:32Z-
dc.date.available2013-01-16T08:52:32Z-
dc.date.issued2013-01-16-
dc.identifierSemicond. Sci. Technol. 24(2009) 105028-
dc.identifierhttp://hdl.handle.net/123456789/143-
dc.identifier.urihttp://www.repositoriodigital.ipn.mx/handle/123456789/10661-
dc.descriptionCONACYT, IPN-
dc.languageen-
dc.publisherInstitute of Physics-
dc.subjectSiOx-
dc.subjectSi-
dc.titleEffect of the plasma composition on the structural and electronic properties of as-grown SiOx/Si heterolayers depositedby reactive sputtering-
dc.typeArticle-
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