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dc.contributor.advisorRueda Morales, Gabriela-
dc.contributor.authorMeza Escamilla, Alba-
dc.date.accessioned2012-07-27T06:06:01Z-
dc.date.available2012-07-27T06:06:01Z-
dc.date.issued2012-07-27-
dc.identifier.urihttp://www.repositoriodigital.ipn.mx/handle/123456789/5913-
dc.description.abstractEl objetivo de éste trabajo es desarrollar una técnica de litografía de rayado con un Microscopio de Fuerza Atómica (MFA) convencional el cual no incluye accesorios, ni software de litografía; es de la marca Park Scientific Instruments Autoprobe CP. Para que sirva como base para posteriormente desarrollar dispositivos electrónicos nanométricos.es
dc.language.isoeses
dc.relation.ispartofseriesTesis 2007;21-
dc.subjectLitografía rayado AFMes
dc.titleLitograf a de rayado con el AFMes
dc.typeThesises
dc.description.especialidadFÍSICA Y MATEMÁTICASes
dc.description.tipo42es
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