Automatización de un sistema rocío pirolitico ultrasónico para la deposición depelículas ultra-delgadas de HfO2 impurificadas con tierra raras

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Registro completo de metadatos

Campo DC	Valor	Lengua/Idioma
dc.creator	Martinez Merlin, Ivan E	-
dc.creator	Guzman Mendoza, Jose	-
dc.date	2012-03-29T00:25:52Z	-
dc.date	2012-03-29T00:25:52Z	-
dc.date	2010-11	-
dc.date.accessioned	2013-01-16T15:51:19Z	-
dc.date.available	2013-01-16T15:51:19Z	-
dc.date.issued	2013-01-16	-
dc.identifier	978-607-414-214-3	-
dc.identifier	http://hdl.handle.net/123456789/1019	-
dc.identifier.uri	http://www.repositoriodigital.ipn.mx/handle/123456789/11488	-
dc.description	Se realizarán películas ultra-delgadas de óxido de hafnio impurificadas con tierras raras por medio del método de deposición de rocío pirolítico ultrasónico; se automatizó éste sistema con la finalidad de tener un mejor control en las variables que intervienen en la deposición de las películas; se estudiarán sus propiedades (caracterización) tales como morfología, rugosidad, composición química, estructura cristalina y fotoluminiscencia utilizando: microscopia de fuerza atómica, espectroscopia por dispersión de energía, difracción de rayos x de ángulo pequeño y espectroscopia foto-luminiscente.	-
dc.description	Articulo en extenso de memoria de Simposio	-
dc.description	Instituto Politecnico Nacional y Conacyt	-
dc.language	es	-
dc.subject	Automatizacion de un sistema	-
dc.subject	impurificadas con tierras raras	-
dc.title	Automatización de un sistema rocío pirolitico ultrasónico para la deposición depelículas ultra-delgadas de HfO2 impurificadas con tierra raras	-
dc.type	Article	-
Aparece en las colecciones:	Doctorado

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Fichero	Descripción	Tamaño	Formato
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