Deposito de Películas Ferroeléctricas de Ba1-xSrxTiO3 por RF-Sputtering

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Campo DC	Valor	Lengua/Idioma
dc.creator	Marquez-Herrera, A.	-
dc.creator	Zapata-Navarro, A.	-
dc.date	2012-03-26T23:21:49Z	-
dc.date	2012-03-26T23:21:49Z	-
dc.date	2008-06	-
dc.date.accessioned	2013-01-16T11:11:07Z	-
dc.date.available	2013-01-16T11:11:07Z	-
dc.date.issued	2013-01-16	-
dc.identifier	978-607-414-014-9	-
dc.identifier	http://hdl.handle.net/123456789/443	-
dc.identifier.uri	http://www.repositoriodigital.ipn.mx/handle/123456789/10934	-
dc.description	En este trabajo se presenta el depósito de películas delgadas ferroeléctricas de Ba1–xSrxTiO3 sobre sustratos de Pt/TiO2/SiO2/Si por RF co-sputtering. El co-sputtering fue hecho mediante dos magnetrones con blancos de BaTiO3 y SrTiO3 en una configuración off-axis. Las películas obtenidas fueron uniformes y sin cúmulos. La curva de histéresis muestra la presencia de ferroelectricidad.	-
dc.description	Articulo en extenso en memoria de simposio	-
dc.description	Instituto Politecnico Nacional	-
dc.language	es	-
dc.publisher	Instituto Politecnico Nacional	-
dc.subject	peliculas ferroelecticas	-
dc.title	Deposito de Películas Ferroeléctricas de Ba1-xSrxTiO3 por RF-Sputtering	-
dc.type	Article	-
Aparece en las colecciones:	Doctorado

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